Ярославский государственный университет им. П.Г.Демидова
тел./ факс: +7(4852) 79-77-51
Научная деятельность Документы Подразделения Молодежная наука

Ученые ЯрГУ разрабатывают 3D-аккумуляторы нового поколения

23/12/2019
Ученые ЯрГУ разрабатывают 3D-аккумуляторы нового поколения

Ход выполнения прикладных научных исследований в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса на 2014-2020 годы», соглашение Электронного бюджета 075-15-2019-1697, Внутренний номер соглашения 05.604.21.0230 от 20.11.2019 «Разработка твердотельных тонкопленочных 3D литий-ионных аккумуляторов для микроминиатюрных устройств интегральной электроники, гибкой электроники и микросистемной техники». 

В ходе выполнения этапа №1 ПНИ были получены следующие результаты:

1. Промежуточный отчет о ПНИ, содержащий:

1.1. Аналитический обзор современной научно-технической, нормативной, методической литературы в области создания ТТЛИА в тонкопленочном (интегральном) исполнении;

1.2. Выбор и обоснование направления исследований по тематике ПНИ;

1.3. Проведение пробных экспериментов по формированию 3D структур на кремнии методом плазмохимического травления;

1.4. Эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в планарном исполнении;

1.5. Эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в 3D исполнении;

1.6. Отчет о патентных исследованиях, оформленный в соответствии с ГОСТ 15.011-96.

2. Отчет о патентных исследованиях.

2.1. Эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в 3D исполнении.

2.2. Эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в планарном исполнении.

Основные характеристики полученных результатов:

- Аналитический обзор содержит 270 научных информационных источников в области создания ТТЛИА за период 1980 – 2017г.г.

- Проанализированы 100 патентов, представляющих интерес для выполнения настоящей работы.

- Выполнены выбор и обоснование направления исследования по тематике ПНИ;

- Проведены пробные эксперименты по формированию 3D структур на кремнии методом плазмохимического травления;

- Разработана конструкция и топология макета ТТЛИА в планарном исполнении;

- Разработана конструкция и топология макета ТТЛИА в 3D исполнении;

- Отработана лабораторная технология нанесения твёрдого электролита LiPON на тонкопленочные электроды состава: Si-O-Al, LixV2O5, LiFePO4, Li(1+а)NibMncCoO(2-δ) (далее NMC).

- Отработана лабораторная технология нанесения тонких пленок состава Si-O-Al и LixV2O5 на тонкую пленку твёрдого электролита LiPON.

- Отработана лабораторная технология нанесения медного токоотвода на тонкопленочные электроды состава: Si-O-Al, LixV2O5,LiFePO4, NMC.

- Отработана лабораторная технология нанесения диэлектрического слоя на медный токоотвод.

- Отработана лабораторная технология вскрытия окон в слое диэлектрика для формирования контактных площадок.


Возврат к списку

Июль 2024
Пн Вт Ср Чт Пт Сб Вс
1 2 5 6 7
8 9 10 11 12 13 14
15 16 17 18 19 20 21
22 23 24 25 26 27 28
29 30 31 1 2 3 4
Управление научных исследований и инноваций (УНИ) ЯрГУ

+7(4852) 79-77-51
nis@uniyar.ac.ru

Ярославль,
ул. Советская, 14, к. 305
посмотреть на карте

Время работы

с 8:30 до 17:30,
обед с 12:30 до 13:30